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SPS是放电等离子体热压烧结炉的简称。

SPS（Spark Plasma Sintering，火花等离子烧结）是一种先进的材料合成与加工技术。它利用脉冲直流电流通过粉末材料，在短时间内实现材料的致密化过程。SPS放电等离子体热压烧结炉是进行这种工艺的关键设备，其主要特点包括快速加热、短周期烧结以及良好的微观结构控制能力。

主要特点：快速加热，由于电流直接通过粉末材料，加热速度非常快，可以达到数千度每秒，这有助于减少不必要的相变或反应。

单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动，便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计，提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面，便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术，简便干净。全自动控制系统采用模块化设计，维护方便，可靠性高，抗干扰性好。硅单晶生长的成功与否以及质量的高低是由热场的温度分布决定的。温度分布合适的热场，不仅硅单晶生长顺利,而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理，生长硅单晶的过程中容易产生各种缺陷